egyablakos szolgáltatásban
A Newtek Gas egy élvonalbeli PSA (nyomásviszony adszorpciós) oxigéngenerációs rendszerét mutatja be, amelyet kifejezetten félvezető gyártási környezetre terveztek. Ez a moduláris megoldás 99,5% ultra-magas tisztaságú oxigént biztosít az áramlási sebességgel, a 5-3000 NM3/H között, amely intelligens integrációs képességeket tartalmaz a tisztítószoba műveletekhez.
Alapvető műszaki előnyök
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% o₂ tisztaság
± 0. 5% koncentráció stabilitása valós idejű lézergáz-elemzésen keresztül
0.
- 30% -kal alacsonyabb az energiafogyasztás, mint a hagyományos rendszerek
- A hővisszanyerő rendszer csökkenti a hőterhelést FAB környezetben
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
A skálázható csúszásra szerelt formatervezés 20% -200% kapacitás bővítését támogatja
Légkompressziós egység (olajmentes görgetési technológia)
Tisztító torony (automatikus TSA nedvesség eltávolítása)
Intelligens vezérlőszekrény (PLC+HMI SECS/GEM protokoll)
Félvezető folyamat alkalmazások
✔ Termikus oxidáció
Precizitás O₂ ellátás a kapu -oxid növekedéséhez (2-200 Å vastagságvezérlés)
✔ Száraz maratás
Plazma-stabil gázellátás nanoméretű mintázathoz
✔ CVD kamara tisztítás
Rendkívül száraz oxigén a részecske-szennyezés megelőzéséhez
✔ ostya lágyítás
Nagy-tisztaságú légkör-szabályozás a dopszert aktiváláshoz
Intelligens megfigyelő rendszer
Valós idejű szennyeződés-megfigyelés (PPB-szintű detektálás)
Prediktív karbantartás AI algoritmussal (98% -os pontosság)
Távoli diagnosztika az IIOT platformon keresztül (OPC UA/MTConnect)
Semi F 5-0202 Tisztítószoba gázszabványok
CE/UL/ETL elektromos biztonsági tanúsítás
ISO 14644-1 3. osztály Tiszta szoba kompatibilitása
Biztosítunk
▲ Globális műszaki hálózat:24/7 többnyelvű támogatás<4hr response time
▲ Élethosszig tartó optimalizálási program:Éves hatékonysági ellenőrzés és a molekuláris sziták cseréjének szolgáltatása (1- év garancia)
▲Egyedi megoldások:Testreszabott integráció az AMHS/MMC rendszerekkel
és gáz helyreállítási rendszer kialakítása
Vegye fel a kapcsolatot a félvezető gázszakértőinkkel
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtakgas.com
Népszerű tags: Oxigéngenerátor félvezető számára, Kína oxigéngenerátor félvezető gyártók számára, beszállítók
